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新型压电扭矩传感器的结构与标定 2021年第5期 仪表技术与传感器 instrumenttechniqueandsensor2021no15 高长银1,赵辉1,马龙梅1,王金凤1,孙宝元2 (1.郑州航空工业管理学院机电工程系,河南郑州,450015;2.大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116024) 摘要:介绍了以压电扭转效应为基础的新型扭矩传感器。该传感器的扭矩测量晶组仅由3片石英晶片与4片半圆分割电极组成,它的主要特征是利用石英晶片的扭转效应,而不是常用的剪切效应。所谓扭转效应是指当压电晶体受到 扭矩促进作用时,在压电晶体的某些表面产生改变极化电荷的现象。利用积分法理论上得出结论该传感器量程的理论计算公式,通过静态,该传感器的测量范围为-9~9n#m,而且具备较好的线性,该扭矩传感器的各项静态指标均达至了cirp-stcc标准。同时动态标定说明,它的固有频率高达12khz. 关键词:扭矩传感器;扭转效应;固有频率;标定 中图分类号:tp212.2文献标识码:a文章编号:1002-1841(2021)05-06-02 structureandcalibrationofnewtypeofpiezoelectrictorquesensor gaochang-yin1,zhaohui1,mal