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- 2022-10-02 发布于辽宁
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第四节 其他加工技术简介 三、电子束加工 1.加工原理 电子束加工是利用高速电子的冲击动能来加工工件的,如图4-22所示。在真空条件下,将具有很高速度和能量的电子束聚焦到被加工材料上,电子的动能绝大部分转变为热能,使材料局部瞬时熔融、汽化蒸发而去除。 控制电子束能量密度的大小和能量注入时间,就可以达到不同的加工目的。如只使材料局部加热就可进行电子束热处理;使材料局部熔化就可以进 行电子束焊接;提高电子束能量密度,使材料熔化和汽化,就可进行打孔、切割等加工;利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理,即可进行电子束光刻加工。 上一页 下一页 返回 第四节 其他加工技术简介 2.电子束加工的特点 电子束加工的特点如下: 电子束能够极其微细地聚焦(可达1~0.1μm),故可进行微细加工; 加工材料的范围广,由于电子束能量密度高,可使任何材料瞬时熔化、汽化且机械力的作用极小,不易产生变形和应力,故能加工各种力学性能的导体、半导体和非导体材料; 加工在真空中进行,污染少,加工表面不易被氧化; 电子束加工需要整套的专用设备和真空系统,价格较贵,故在生产中受到一定程度的限制。 上一页 返回 小锦囊 电火花加工、电火花线切割加工的异同点 电火花加工和电火花线切割加工存在较多的共同之处,使人容易混淆。下面特对两者的异同点进行总结,供大家参考。 1.共同特点 (1)二者
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