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V型电热驱动器的理论建模及位移响应特性 作为微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS) 的驱动机构，微驱动器也称为微执行器或致动器，通过将其他形式的 能量转化为机械能，从而产生驱动力或力矩；其输出力或力矩、驱动 位移和可靠性等参数决定了整个MEMS的性能，是MEMS重要的组成部 分L1-3L依据驱动原理的不同，微驱动器分为静电型［4］、电磁型 ［5］、压电型［6］以及电热型［7］等，其中，电热驱动器利用焦耳 和热膨胀效应，将电能或其他形式的能量转变为热能，进而输出位移。 和其他驱动器相比，电热驱动器的驱动电压更低、输出位移更大、工 艺兼容性更好，因此电热驱动器是目前的研究热点之一。电热驱动器 分为U, V和Z型3种，其中，V型电热驱动器在倾角足够大时可以 提供更大的位移为了研究电热驱动器的位移响应特性，通常需要先对电热驱动器进行 解耦［11］,即依序单独建立电-热耦合子模型和热-力耦合子模型。 对于电-热耦合子模型，Shan等［12］考虑温度对电阻率、导热系数 等参数的影响，建立V型电热驱动器的瞬态传热模型，在此基础上对 真空和空气环境下的瞬态热响应进行了仿真分析;Estahbanati等［13］ 将V型电热驱动器划分成8个集总热单元，利用节点分析法建立V型 电热驱动器的等效电路模型。对于热-力耦合子模型，Shan等［12］ 依据虚功原