迈克尔逊干涉仪测不透明薄膜厚度.pdfVIP

. 迈克尔逊干涉仪测不透明薄膜厚度 摘要：为了测量不透明薄膜的厚度，借助力传感器使薄膜被等厚的空气层所代替， 并运用等倾干涉的原理设计了测量装置。此法通过间接测量， 避开了机械螺旋空 程差造成的影响， 使用力传感器有效减小了挤压形变引起的误差。在数据处理中， 避开了传统逐差法的繁琐，而是直观地用图形对实验结果进行展示，简化和加速了 分析处理数据的过程。实测数据表明， 该装置具有良好的重复性和准确性。 关键词：迈克尔逊干涉仪；力传感器；等倾干涉；数据分析 . . 目 录 1 测量装置及简介 1 1.1 迈克尔逊干涉仪和力传感器结构 1 1.2 实验装置介绍 2 2 实验原理 3 2.1 迈克尔逊光路原理 3 2.2 等倾干涉原理 3 2.3 简化实验数据分析原理 5 2.4 薄膜厚度可以被等厚空气膜代替原理 5 3 实验方法 6 3.1 迈克尔逊干涉仪的调节 6 3.2 测定激光波长 7 3.3 测量薄膜厚度过程 7 4 实验结果及误差分析 7 4.1 测量数据和计算结果 7 4.2 实验误差分析 9 5 实验改进 9 6 结论 10 参考文献 10 . . 引言 薄膜的测量历来是用累积法（测一定数量的薄膜总厚度）求得的，但薄膜之间 一定存在空隙使测量结果存在较大偏差。为解决此问题，本文运用迈克尔逊干涉仪， 力传感器作为辅助，巧妙地把被测薄膜厚度转换为等厚的空气膜，使得薄膜的厚度 被较精确的测量出来。厚度是薄膜的重要物理参量，越是能被精确地测量出，就越 是能把握材料特性，有助于科学的进步。本文从测量装置，原理，方法及数据误差 这几方面进行讨论，并试图提出了些改进方案。从实验结果来看，能反映出较好的 精确度。 1 测量装置及简介 测量薄膜厚度的理论依据是：迈克尔逊干涉仪装有蜗轮蜗杆系统，使得其具有 很高的测量精度，而力传感器又能显示压力大小，有效减小操作中的挤压形变，两 种仪器结合使用，使实验结果更接近于真实值。 1.1迈克尔逊干涉仪和力传感器结构 1.1.1迈克尔逊干涉仪的结构 迈克尔逊干涉仪的结构如图1所示，其中M1和M2是两个精密磨光的平面镜， 它们放置在相互垂直的两臂上，在其背后各有三个调节螺旋，是用来调节镜面的方 位的；M2固定不动，M1由精密丝杆控制，可以在臂轴上前后移动，图中11为读 数窗口，由此可知M1的移动距离。仪器前方粗动手轮（图中的13）最小分格值为 -2 -4 -5 10 mm，右侧微动手轮 （图中15）的最小分度值为 10 mm，可估读至 10 mm， 两个读数手轮构成了蜗轮蜗杆传动系统。图中的9和 10是厚薄和折射率都很均匀 的相同玻璃板，9 的后面涂有一层薄的银膜，光线到达此处时可以被分为强度差不 多的两部分。 . . 1.1.2力传感器结构 S型压力传感器的结构如图2所示，螺纹所在的平面为受力面，安装方便，具 有很高的测量精度，其稳定性能也比较好，便于控制，是理想的测力装置。 图2 力传感器结构图 1.2实验装置介绍 在具体测量中要把力传感器固定于迈克尔逊干涉仪导轨上，然后再接于计算机，其 连接方式如图 3。计算机软件可以对作用在力传感器上的压力进行实时监测，当计 算机数值为最小变化时，说明已充分接触，此时可以作为计录起点。 . . 迈克尔逊 力传感器