《电容式传感器》 (2).ppt

第4章??? 电容式传感器;4.1 电容式传感器的工作原理及结构类型;一、工作原理及结构类型 电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。 多数场合下，电容器是由两个金属平行板组成，且以空气为介质。如果不考虑边缘效应（初始d0很小时，可忽略）， 电容器的电容量 ：; 当被测量使得d、S或?发生变化时，电容量C也随之变化。 一般保持其中两个参数不变而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。; 电容式传感器可分为三种类型：变间隙式（变极距式、???间距式）、变面积式和变介电常数式。;二、变间隙式电容传感器 ;当?dd0时， ; d0 减小会导致非线性误差增大，且 d0 过小时，容易引起电容器击穿。改善耐压性能的办法是在极板间放置高介电常数的材料（云母片、塑料膜等）。此时电容 C 变为 ; 一般变间隙式电容式传感器的起始电容在20~30pF 之间，极板距离在25~200 ?m的范围内，最大位移应该小于间距的1/10。 此类电容传感器仅适于较小位移的测量，但分辨率极高，可测0.01?m 的线位移。 但是，这么小的极板距离使两极板间的静电引力会对位移的测量带来影响。为减少这种影响，同时进一步提高灵敏度，又可改善线性的常用方法是采用差动结构。;动极板上移：;当 ?d /d0 1 时，略去高次项 ;三、变面积式电容传感器 ;;2. 平面线位移 极板起始覆盖面积为S＝a×b，; 增加极板长度b、减小极板间距d都可以提高灵敏度K ； 减小极板宽度a可提高相对灵敏度KC，而极板起始覆盖长度b与相对灵敏度KC无关。但 a不能太小，必须保证 ad，否则边缘不均匀电场影响将增大。;3. 圆筒线位移 在初始的位置（即x＝0）时，动、定极板相互覆盖，此时电容量为 ; n层重叠极板组成的多片型电容传感器具有类似的单片电容器的（n－1）倍电容量。 多片型相当于一个大面积的单片电容传感器，但是它能缩小尺寸，也可提高灵敏度。对于同样位移Δx，单片电容器电容变化?C，而多极板电容器电容变化为（n－1）?C 。;齿形极板;四、变介电常数式电容传感器 ; 设在电极中无?2 介质时的电容量为C0 ，即 ;线位移;4.3 电容式传感器的等效电路 ;4.4 硅电容式压力传感器 ;一、硅电容式压力传感器的结构 ; 右图是另一种形式的硅电容式传感器。 首先在硅衬底上先制作下电极Al；然后淀积一层 SiO2 ，用光刻方法形成 SiO2岛；再淀积一层 Si3N4 （氮化硅）或多晶硅，去掉 SiO2 岛（也可不去），就形成一个 Si3N4 或多晶硅薄膜腔；制作上电极，就形成一个半导体敏感电容器。 极板间距由 SiO2 岛和 Si3N4 （或多晶硅）厚度决定。目前，薄膜沉积技术趋于成熟，膜厚能严格控制。与膜片式比较，工艺简单，可避免各向异性腐蚀加工和阳极焊接键合等复杂工艺。 ;1. 圆形膜片 膜片半径为 a ，铝电极半径为 b （一般 b : a = 7 : 10），膜片厚为 h ，当膜片两侧无压差时，极板间距为d0。 此时电容量为; 在1.013×105 Pa 的压力差作用下，W(0) ＝0.77?m，电容由C0 →Cx ;2. 方形膜片： 膜片尺寸为 a×a，铝电极尺寸为 b×b ，其余尺寸与圆形膜片相同。其压力差与位移的关系可用有限差分法分析，仍近似地有如电容式传感器的关系 ;4.5 电容式传感器的测量电路 ; 一般运算放大器的放大倍数 K 非常大，而且输入阻抗 Zi 很高，运算放大器的这一特点可以作为电容传感器的比较理想的测量电路。 Cx 为电容传感器。a点为虚地点， 。Zi 很高， ，根据克希霍夫定律： ;优点： 解决了单个变极距式电容传感器的非线性问题。 当在结构上不易采用差动电容时（例如在进行振动测量时，测量头为电容式传感器的定极板，而振动机械的任何一部分导电平面则作为动极板，两者组成单极板电容器传感器），那么这种方案较使用单极板的其它电路能获得更高的线性输出。 按这种原理已制出了能测出0.1?m的电容式测微仪。 缺点： 此电路要求电源电压稳定，固定电容电容量稳定，并要求运放放大倍数与输入阻抗足够大。由于输出也为交流电压，需要精密整流变为直流电压输出。这些附加电路将使整个测量电路较为复杂。;二、电桥电路 ;三、二极管 T 形网络 ; 在随后电源为负半周时，D2 导通、D1截止，电路可以