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真空科学技术-分子泵
LT
分子泵主要由带有进气口法兰的泵壳；包括动叶轮和静叶轮的涡轮排；由中频电动机和润滑油循环系统构成的驱动装置以及底座组成。其结构如图1所示：
图1.立式涡轮分子泵的结构
由于单个叶轮的压缩比很小，因此涡轮分子泵一般由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。工作时静叶轮(图2)外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮（图2）在静叶轮间高速旋转。由于动叶轮所具有的几何形状（图3），高速旋转时其两侧的气体分子呈漫散射状态。在叶轮左侧(图3a)，当气体分子到达A点附近时，在
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