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课程号课 程 简 介
课程名称：微电子工艺技术 英文名称：Microelectronics Technology
周学时：3.0-0.0 学分：3
预修要求：微电子学、固体物理与半导体物理、集成电路
内容简介：
了解集成电路制造工艺技术是从事集成电路设计、制造和研究人员所必须的。为此所开设的微电子工艺技术课程，是微电子技术专业的一门必修课。通过本课程的学习，使学生对半导体器件和半导体集成电路的制造工艺及原理、工艺设备及工艺流程有一个较为完整和系统的概念，並具有一定的工艺分析和设计以及解决工艺问题和提高产品质量的能力。是一门与实际联系紧密的课程。
主要内容包括：微电子加工
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