光学薄膜制造工艺.pptxVIP

会计学;2;3;4;5;6;7;8;9;10;11;12;13;14;15;16;17;18;19;20;21;以上就是极值法监控膜层厚度的基础; ①当选定一个λ作为监控波长时，只要膜层的光学厚度是λ/4的整数倍，其透射和反射光信号就具有一个或多个可供明确判断的极值； 例如：λ0=500nm时, nd=125nm (1个极值), nd=250nm (2个极值),;24;25;26; 典型装置 ;28; 双光路补偿法;30; 微分法;32;33;曲线比拟法;35;1. 频移法;37; 2. 周期法;39;40;41;①在镀膜机上设置一台快速扫描分光光度计（全光谱采样时间小于100mS，波长分辨率优于2nm，波长重复性???于1nm，T或R测量精度1%），实现膜层 T —λ或 R—λ曲线的适时测量。 ;43;44;45