DLC薄膜的实验报告.doc

DLC 薄膜的试验报告 绪论 所说的 DLC 薄膜是 Diamond－Like－Carbon 膜的略称,具有与高硬度的金刚石相像的物性,是一种含有氢的不定形的碳膜.DLC 膜自从 70 年月通过离子蒸着法被制作以来,很多的争辩人员进展了不断地争辩开发. DLC 膜与金刚石、石墨是不同的,它不具有确定的晶体构造,但是依据分析,它拥有与金刚石构造一样的 SP3 键合,也含有一局部与石墨构造相像的 SP2 键合构造,同时含有氢成分,所以被认为是一种不拥有长距离秩序确实定晶体构造 ,而是一种不定形构造. 现在,经常使用的构造分析法是将碳元素固定的罗曼光谱分光法.具有 DLC 膜的特性光谱是波数在 1