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二、 步骤 ? 双喷(纯Al,18-8不锈钢使用通用双喷液:4%高氯酸酒精溶液,-20℃) ? 操作过程:试料→ 线切割(~0.5mm厚)→ 机械减薄至~0.3mm左右→ 化学减薄至~0.2mm→ 冲样φ30mm →抛磨边沿毛刺→ 丙酮浸洗→ 双喷电解抛光:本试样条件:75V、-20℃ →穿孔即停电→ 无水酒精浸洗4次→ 丙酮中清洗一次→ 干燥后(滤纸吸干)备用。 第十一章透射电镜的试样制备 第四节 薄膜试样制备 * 薄膜样品的制备 一、基本要求 电子束对薄膜样品的穿透能力和加速电压有关。当电子束的加速电压为 200kV时,就可以穿透厚度为 500nm 的铁膜,如果加速电压增至l000kV ,则可以穿透厚度大致为 1500nm 的铁膜。 从图像分析的角度来看,样品的厚度较大时,往往会使膜内不同深度层上的结构细节彼此重叠而互相干扰,得到的图像过于复杂,以至于难以进行分析。 但从另一方面来看,如果样品太薄则表面效应将起着十分重要的作用,以至于造成薄膜样品中相变和塑性变形的进行方式有别于大块样品。 因此,为了适应不同研究目的,应分别选用适当厚度的样品,对于一般金属材料而言,样品厚度都在500nm以下。 第三,薄膜样品应有一定强度和刚度,在制备、夹持和操作过程中,在一定的机械力作用下不会引起变形或损坏。 最后,在样品制备过程中不允许表面产生氧化和腐蚀。氧化和腐蚀会使样品的透明度下降,并造成多种假像。 合乎要求的薄膜样品必须具备下列条件: 首先,薄膜样品的组织结构必须和大块样品相同,在制备过程中,这些组织结构不发生变化。 第二,样品相对于电子束而言必须有足够的“透明度”,因为只有样品能被电子束透过,才有可能进行观察和分析。 Specimen Preparation ?Methanol ?Ethanol 透射电镜观察 材料科学样品透射电镜制样流程图 (a) (b) (a) (b)
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