硅太阳能电池工艺流程.ppt

硅太阳电池制备工艺;制备工艺流程;硅片清洗与去损 去除表面损失和沾污 硅片制绒 形成表面陷光结构 碱制绒与酸制绒 ;碱制绒; 酸制绒是各向同性腐蚀 使用HNO3和HF的混合液 单晶和多晶硅都适用 需要表面有缺陷和损伤 可以与H2O, H3PO4, H2SO4等混合使用; 一般使用CF4等离子体轰击表面 优点 低温，环境影响小 易单面制绒 硅片应力小 缺点 成本 当 λ 500 nm时，QE降低 ;扩散方法 沉积磷源在硅片表面 高温加热 磷扩散到硅基体中 扩散过程需要折衷考虑的因素 蓝光响应（死层） 串联电阻 金属接触电阻 温度——杂质和应力等 吸杂 ;边缘刻蚀 去除边缘PN结，防止上下短路 ;;减反射膜;少子寿命较低的情况下， 寿命提高对电池效率的影响比较明显;低温快速热处理后， Si-SiNx界面态密度减少; 350-500℃，Si-H和N-H峰强均有下降;;在太阳电池背面丝网印刷铝浆 通过烧结 和p型硅形成良好的接触 形成铝背场 高低结电场 吸杂 ;在太阳电池正面丝网印刷银浆，形成负电极 正面电极有主栅线和副栅线组成 ;The End