光子晶体垂直腔面发射激光器的设计分析.docx

摘要 光子晶体垂直腔面发射激光器（PCVCSEL）是在传统的氧化限制型垂直腔面发射激光器（VCSEL）的基础上引入二维光子晶体结构的一种新型激光器，可以实现大功率的基横模输出。提出了PCVCSEL结构的合理设计方法，当归一化频率VeffVeff位于2.405附近时实现了稳定的基横模输出。通过二维等效折射率模型分析对比了基横模PCVCSEL和缩小氧化孔径实现基横模的传统VCSEL，前者可以实现更大的横向限制并具备更宽的光场宽度。通过热电耦合模型分析了PCVCSEL的电流分布和温度分布，证明电流和热量主要集中在氧化限制孔所对应的区域。成功制备出了单模输出功率达到1.6 mW的PCVCSEL，其激射