红外衍射光学模芯的超精密车削工艺与优化.docx

摘要 为减小模芯的制造误差对模压成型的衍射光学元件（DOEs）光学性能的影响，对具有曲面基底衍射微结构表面的微晶铝合金模芯开展了单点金刚石车削（SPDT）工艺研究。基于遮挡效应和散射效应分析模芯制造误差对DOEs衍射效率的影响，建立刀具半径和刀具偏转角与衍射效率之间的数学关系模型，提出提高加工精度的优化方法。在该方法的指导下进行了衍射光学模芯车削实验，并对比预期衍射效率与实验结果。结果表明：采用该优化方法选择工艺参数能够减小模芯制造误差对衍射效率的影响，提高DOEs的光学性能，为SPDT衍射光学模芯制作提供参考。 Abstract To reduce the effect of manufac