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一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机.pdfVIP

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  • 2022-10-25 发布于北京
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一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机.pdf

    本实用新型公开了一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机，包括基座、加工腔以及控制面板，基座的内部开设有加工腔，且基座的内部设置有控制面板，加工腔的内部设置有转动盘，且加工腔的内部设置有涂胶组件与曝光组件，基座的内部位于加工腔下方的位置开设有安装腔，且安装腔的内部设置有电机，电机的输出轴固定连接有支撑杆；本实用新型是通过设置加热组件，能够在利用加热片环形腔内部加热的同时，使支撑杆带动齿轮一驱动齿轮二转动，从而使转动杆带动连接环以及叶片转动，使环形腔内部的热气流在扇叶的导向下通过导气组件喷洒至转动盘表面，

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217639934 U (45)授权公告日 2022.10.21 (21)申请号 202221724812.7 (22)申请日 2022.07.06 (73)专利权人 无锡环亚微电子有限公司 地址 2

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