一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构.pdfVIP

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2022-11-08 发布于四川
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一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构.pdf

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本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，包括底座、移动平台，其特征在于：所述移动平台上设有电线转接头，所述电线转接头中设有金属触片，设备电线通过电线转接头与金属触片电连接，所述底座上设有线轨座，所述线轨座中设有与外界电源导通的导线，所述金属触片能够与导线滑动接触而导通，所述气管为伸缩管。本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217739713 U (45)授权公告日 2022.11.04 (21)申请号 202221911365.6 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人中山新诺微电子装备制造有限公