太阳能电池生产工艺原理.ppt

清洗间 制绒 甩干 　观察绒面 　检验硅片尺寸 测厚度 称重 清洗 装片 第三十一页，共六十四页，2022年，8月28日 装片 1、检验职责：懂得各确认硅片包装是否破损、确认在制品数量、确认硅片内包装是否破损 及包装盒数、确认包装标签信息与配料单信息是否一致、硅片外观检测。　２、装片要点：带一次性手套、承载盒下面垫海绵条、将硅片捻成扇形插片、区分不良品、 放置不良品、纪录表单　　　　　　　　　　　　 　　能发现生产过程中的各种问题，并及时向上级汇报，争取在第一时间内解决问题。 与组员团结协作，空闲时帮助其他组员完成工作，共创有意义的工作环境。 第三十二页，共六十四页，2022年，8月28日 制绒岗位须知与步骤 制绒须知： 了解清洗间使用的各种原辅料的特性（包括：硅片、HF酸、HCL酸、铬酸、酒精、硅酸钠），做到能正确辨别、正确使用。 懂得各种溶液的配备及生产过程中的正确防护。 保证送入扩散间的硅片与相应的流程卡一一对应，而且数据准确。 懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的正确填写，确保生产过程中的统计准确。 制绒步骤： 佩带防护眼镜、口罩、手套－花篮准备－将硅片防入花篮－机器上料－开始制绒－制绒２０分钟－开启制绒槽盖－抽检一片－目视制绒效果（有无白斑）－将硅片放入槽中关闭槽盖－放入水槽－抽检一片－氮气枪吹干－电子显微镜观察绒面－将硅片放入水槽－开启制绒槽－化学品加液－关闭制绒槽盖－制绒完毕－填写表单 单晶制绒：用碱腐蚀 多晶制绒：用酸腐蚀 制绒作用：减少反射，增强对太阳光的吸收。 第三十三页，共六十四页，2022年，8月28日 单晶制绒的原理： 硅的各向异性腐蚀，在不同的晶向上的腐蚀速度不一致，在100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率R111的比值 R100：R111在一定的弱碱溶液中可以达到500 反应方程式：2NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑ 第三十四页，共六十四页，2022年，8月28日 太阳电池制造过程-化学清洗 HCL去除硅片表面的金属离子 HF去除硅片表面的 氧化物 P型半导体硅 第三十五页，共六十四页，2022年，8月28日 单晶的各种形貌 单晶原始形貌（500倍） 单晶绒面 （500倍） 单晶绒面（SEM） 多晶绒面（SEM） 第三十六页，共六十四页，2022年，8月28日 　扩散间 取片 拿石英舟 上桨 装片 进炉 设置参数 测片 取片 流入下道工序传递箱 第三十七页，共六十四页，2022年，8月28日 太阳电池制造过程-扩散 在P型半导体表面掺杂五价磷元素 在硅片表面形成PN结 外层：磷硅玻璃 中间：N型半导体硅 P型半导体硅 P型硅 N型硅 磷硅玻璃(PSG) 第三十八页，共六十四页，2022年，8月28日 PN结——太阳电池的心脏 扩散的目的：形成PN结 第三十九页，共六十四页，2022年，8月28日 扩散装置示意图 第四十页，共六十四页，2022年，8月28日 四探针测量方块电阻 电位差计 单 晶 硅 1 2 3 4 扩散原理化学方程式: 懂得石英管、SIC桨及其它石英器件的拆卸、清洗和安装。 懂得石英管清洗机的使用及相应清洗液的配备。 懂得在手动及自动状态下对扩散舟及扩散管进行TCA和饱和。 懂得装片、卸片的正确方法，并确保扩散舟及钝化舟的正确使用。 懂得四探针测试仪的正确使用及方块电阻的正确测量 。 懂得生产过程中方块电阻的正确控制，确保方块电阻处于要求范围。 扩散操作重点 扩散原理及检测 第四十一页，共六十四页，2022年，8月28日 刻蚀间 夹片 取片 去PSG 刻蚀 上料 整理 插片 取片 甩干 检测 运行 第四十二页，共六十四页，2022年，8月28日 太阳电池制造过程-等离子体刻蚀 刻蚀目的：去除边缘PN结，防止上下短路 等离子体刻蚀原理：等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。　　　　　　　　 这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。　　　　　 刻蚀方法：１：干法刻蚀　 　　　 ２：湿法刻蚀　　　　 P型半导体硅 P型硅 N型硅 磷硅玻璃(PSG) 第四十三页，共六十四页，2022年，8月28日 等离子体刻蚀检验 检验操作及判断： 确认万用表工作正常，量程置于200mV。 冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。 如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新 装片，进行刻蚀。 检验方法： 冷热探针法 刻蚀机原理化学方程式 去PSG原理化学方程式 O2是作用： 加快CF4与硅片