1.?? 引 言
微型电子回旋共振离子推力器(ECRIT)具有无阴极烧蚀、结构简单、易于启动等特点, 可用于小型航天器的飞行控制[1]或材料处理[2]等方面. 目前日本已经研究出直径2 cm的μ1型ECRIT, 并于2014年分别用在50 kg HODOYOSHI-4和70 kg PROCYON的微小卫星上[3,4]. 国内西北工业大学已经研究出直径10和2 cm的ECRIT样机, 对其离子源进行了束流引出实验、朗缪尔探针诊断实验和数值模拟等研究工作[5-9].?
ECR中和器是ECRIT的关键部件, 其作用是中和离子束, 避免推进器和航天器表面电荷堆积, 是限制ECR推力器使用寿命的关键部件
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