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会计学 1 afm原子力显微镜简介 主要内容 1.概述 2.工作原理 3.仪器介绍 4.成像模式 5.辅助图像 6.AFM应用 7.AFM的缺陷 第1页/共21页 1.概述 AFM (Atomic Force Microscope)原子力显微镜 以原子间力为理论基础的显微镜，从STM（扫描隧道显微镜）发展而来 以原子尺寸观察物质表面结构 金属、半导体、绝缘体 大气、液体环境下直接观察 精确测量样品的尺寸参数精确测量样品的尺寸参数 第2页/共21页 在原子力显微镜的系统中，是利用微小探针与待测物之间交互作用力，来呈现待测物的表面之物理特性。 2.工作原理 第3页/共21页 2.工作原理 将一个对力极为敏感的微悬臂的一端固定，另一端固定针尖 当针尖在样品表面扫描时，因针尖尖端原子与样品表面原子存在的范德华力，使微悬臂产生微小弯曲。 检测悬臂弯曲所造成的微小的位移量，得到样品表面信息 第4页/共21页 2.工作原理 隧道电流法：当两侧金属靠近到很小间距时，两侧金属表面电子云互相重叠产生隧道电流，电流大小与两侧金属距离有关。灵敏度高,易被污染 光学法 常用 第5页/共21页 3.仪器介绍 第6页/共21页 3.仪器介绍 第7页/共21页 4.成像模式 操作模式 接触模式 非接触模式 轻敲模式 第8页/共21页 4.成像模式 4.1 接触模式 针尖与样品表面距离小，利用原子间的斥力 可获