CMOS工艺流程讲解.pptVIP

0.18um Process Cross section Poly P Substrate Pwell NAPT Nwell PAPT VTP Poly PSD NSD NSD NSD PSD PSD W W W W ILD Trench oxide IMD-1 W W W W Metal-1 Metal-2 第三十页，共五十一页。 0.18um Process Cross section Metal-1 IMD-1 A-Si Pwell NAPT Nwell PAPT VTP Poly PSD NSD NSD NSD PSD PSD W W W W ILD Trench oxide Metal-4 IMD-4 W W W IMD-5 Metal-6 IMD-3 W W Metal-2 IMD-2 Metal_5 W W W W W W W W 第三十一页，共五十一页。 PCM PCM就是Process Control Monitor的简称； 同时，PCM也称为WAT：Wafer Accept Test； 第三十二页，共五十一页。 PCM --Purpose PCM 主要把线上一些工艺异常进行及时的反映，在产品入库前对其进行最后一道质量的检验，其作用归纳起来，主要有如下几点： （1）对产品进行参数质量检验； （2）监控在