半导体物理与器件实验补充报告.docxVIP

实验1 实验2 实验3 实验4 实验5 实验6 实验7 实验1：四探针测试半导体电阻率 实验目的 掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理和测试方法。 针对不同形状、不同尺寸的样品，掌握其修正方法。 了解四探针测试电阻率和方块电阻的影响因素和改进措施。 实验具体内容如下： ①各实验样品分别测量电阻率。 ②对同一样品，测试5个不同位置的电阻率，求出电阻率的均匀度。 ③测量扩散片的薄层电阻，并求出均匀性。 ④测试同一样品光照前后的电阻率和方块电阻阻值。 实验设备： RTS-8型四探针测试仪主要由主机（电气测量装置）、测试台、计算机组成。三部分独立放置，通过连接线联接。该四探针测试仪亦可脱离计算机单独使用。 实验原理： 直线型四探针法是用针距s的4根金属同时排成一列压在平整的样品表面上，如下图所示，其中最外部两根与恒定电流源连通，由于样品中有恒定电流I通过，所以将在探针2、3之间产生压降V。 四、实验步骤： (1)将四探针测试仪主机、测试台、四探针探头连接，接通电源开启主机; (2)放置样品于测试台，操作探针台压下四探针头，使样品接通电源; (3)估计测试样品的测量范围确定测试的电流量程（K1-K6键); (4)根据四种测试类别各自的测试电流计算公式得出测试电流值; (5)“K8”键在“I”电流状态下调节主机电位器使测试电流为算出的电流值; (6)切换“K8”按