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- 2022-11-24 发布于北京
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本实用新型公开了一种可自动调节金属熔体蒸发量的化学气相沉积设备，包括反应炉以及导通连接于反应炉上部的真空泵构件；反应炉内包括底部的坩埚件，坩埚件的上部配置有反应室，坩埚件开设有金属蒸汽通孔；还包括用于引入反应气体的气体喷嘴，气体喷嘴沿反应炉的外部深入至反应室，坩埚件配置有加热组件，加热组件用于加热坩埚件内的温度，坩埚件还配置有检测组件和控制柜；控制柜根据检测组件的信号控制加热组件作业。本实用新型通过解决蒸发量精确控制的问题，自动进行实时精确控制，从而获得期望的高质量产品，并且实现控制反应气体损失
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217869086 U
(45)授权公告日 2022.11.22
(21)申请号 202222227546.3
(22)申请日 2022.08.23
(73)专利权人 西安全谱红外技术有限公司
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