多功能数字式四探针测试仪使用原理.docxVIP

PAGE 1 - / NUMPAGES 1 多功能数字式四探针测试仪使用原理 ST2258C型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T1551-20XX《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国标准。  ST2258C型多功能数字式四探针测试仪成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。  主机主要由精细恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；电压电流全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能，Z大分类10类。  探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻开展测量。配 用探头，也可测试电池片等箔上涂层电阻率方阻。  测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台，也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》  仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、构造紧凑、使用简便等特点。  仪器于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 基本技术参数 测量范围、分辨率（括号内为可向下拓展1个数量级）  电阻：×10-6～×103Ω,分辨率×10-6～×103Ω  （×10-6～×103Ω,分辨率×10-6～×103Ω）  电阻率：×10-6～×103Ω-cm分辨率×10-6～×103Ω-cm  （×10-6～×103Ω-cm分辨率×10-6～×103Ω-cm）  方块电阻：×10-6～×106Ω/ 分辨率×10-6～×103Ω/  （×10-6～×103Ω/ 分辨率×10-6～×103Ω/ ）  材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)  直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm，手持方式不限  SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.  长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm,手持方式不限.  测量方位:轴向、径向均可  量程划分及误差等级  满度显示  常规量程kΩ-cm/ kΩ-cm/ Ω-cm/ mΩ-cm/  Z拓展量程kΩ-cm/ Ω-cm/ mΩ-cm/ mΩ-cm/  基本误差±2%FSB ±4LSB±%FSB ±4LSB±%FSB±2LSB±%FSB ±4LSB±%FSB ±4LSB  工作电源：220V±10％,f=50Hz±4％,PW≤5W  外形尺寸：245mm（长）×220mm（宽）×95mm（高）  净重：≤～