天津电子特种气体项目可行性研究报告.docx

泓域咨询/天津电子特种气体项目可行性研究报告 报告说明 电子气体包括大宗电子气体和电子特种气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。 根据谨慎财务估算，项目总投资19978.22万元，其中：建设投资16984.51万元，占项目总投资的85.02%；建设期利息199.43万元，占项目总投资的1.00%；流动资金2794.28万元，占项目总投资的13.99%。 项