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高性能电压信号硅基集成光电探测器的研究
高性能电压信号硅基集成光电探测器的研究
摘要:探测,就像“人眼” 一样,是人们探索和揭示未知世界不可或缺的重要技术手段。在众多的探测器件中,半导体探测器具有体积小、重量轻、抗震动、效率高、功耗低、寿命长、以及光谱范围广等优势,成为实现光信号探测的重要“载体” 。半导体探测器不仅仅是半导体光电子学的重要组成部分,而且在军事、国防、深空探测、科学研究、医疗、光通信等应用领域中同样起到重要支撑作用,属于高新技术,是各个国家抢占的制高点。
本论文基于硅基光子学基本理论,以获得电压信号的硅基集成光电探测器为研究目标,提出硅基锗外接电压结构,对影响光电探测器宽带和
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