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- 2022-12-03 发布于四川
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本申请公开了一种具有晶圆推片结构的机械手臂，包括：机械手臂本体，其端部具有牙叉固定座，所述牙叉固定座前端安装有牙叉；两个推片结构，每一所述推片结构包括推杆支撑座和推杆，两个所述推杆支撑座分别安装于所述牙叉固定座的两侧，所述推杆安装于所述推杆支撑座的自由端上，所述自由端从所述牙叉固定座向前在所述牙叉侧面延伸。本申请的具有晶圆推片结构的机械手臂，当晶圆于设备工艺过程中产生偏移的情况下，利用推杆往前动作，由推杆推动晶圆往前，将偏移的晶圆推到正常位置后，再进行取片的动作，这样就可以减少因晶圆偏移而导致的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217933764 U
(45)授权公告日 2022.11.29
(21)申请号 202221870722.9
(22)申请日 2022.07.11
(73)专利权人 北京和崎精密科技有限公司
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