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2022-12-12 发布于四川
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一种PECVD炉及PECVD沉积系统，属于光伏装备技术领域。PECVD沉积系统包括PECVD炉、抽真空组件和供气组件。其中，PECVD炉中的炉管包括石英炉管和套设在石英炉管内的不锈钢炉管。且不锈钢炉管的内壁设置有绝缘层，用于形成沉积区域。在内壁设置有绝缘层的不锈钢炉管内进行离子体增强化学气相沉积工艺，当不锈钢炉管的温度降低时，硅的化合物等结晶附着在不锈钢炉管的内壁。由于不锈钢炉管具有较好的韧性，能够减小炉管破裂的几率，进而提高炉管的寿命。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217997321 U (45)授权公告日 2022.12.09 (21)申请号 202222050057.5 (22)申请日 2022.08.04 (73)专利权人通威太阳能（眉山）有限公司地址