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会计学1GaNITO工艺流程简介
06 一月 2023厦门三安光电科技有限公司GaN ITO芯片前道流程 晶片投入激光刻号ITO蒸镀前清洗ITO蒸镀P-Mesa光罩作业ITO蚀刻P-Mesa干蚀刻干蚀刻后光阻去除ITO熔合CVDPad 光罩作业Metal蒸镀前 蚀刻Metal 蒸镀金属剥离温筛ITO光罩作业ITO蚀刻第1页/共11页
06 一月 2023厦门三安光电科技有限公司外延片ITO光刻胶ICP EtchingITO蚀刻光刻胶ITO蚀刻ITO熔合SiO2光刻胶Metal蒸镀P电极N电极GaN芯片前道流程演示图第2页/共11页
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06 一月 2023厦门三安光电科技有限公司GaN规格的定义表示WLD（波长）的起始主波长表示WLD（波长）的跨度表示IV（光强）的跨度表示VF(电压)的跨度ABCD1EF…23456…波长跨度代码对照表光强代码对照表B20-30C30-40D40-50E50-70F70-100GH100-130130-160IJ160-200200-240K240-300L300-360E150-60E260-70F170-80F280-100462 C E X规格正向电压的范围X：3.0-3.4Y：3.2-3.6第8页/共11页
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