透射电子显微镜.pptxVIP

透射电子显微镜会计学第1页/共23页2.1 透射电镜的结构原理 目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3 埃，电压为100～500kV，放大倍数50~1200000倍。由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪、电子能损分析等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时提供试样的有关附加信息。 高分辨电镜的设计分为两类：一是为生物工作者设计的，具有最佳分辨本领而没有附件；二是为材料科学工作者设计的，有附件而损失一些分辨能力。另外，也有些设计，在高分辨时采取短焦距，低分辨时采取长焦距。 我们这里先看一看一些电镜的外观图片，再就电镜共同的结构原理和日趋普及的分析电镜的有关部分做一介绍。第2页/共23页 日本日立公司H－700电子显微镜，配有双倾台，并带有7010扫描附件和EDAX9100能谱。该仪器不但适合于医学、化学、微生物等方面的研究，由于加速电压高，更适合于金属材料、矿物及高分子材料的观察与结构分析，并能配合能谱进行微区成份分析。● nm● 加速电压：75KV－200KV● 放大倍数：25万倍● 能 谱 仪：EDAX－9100● 扫描附件：S7010　加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?β=±25度加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? CM200-FEG场发射枪电镜JEM-2010透射电镜第3页/共23页加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94?加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度?β=±30度EM420透射电子显微镜JEM-2010透射电镜第4页/共23页加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度 β=±25度加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度α=±60度?转动4000CEISS902电镜Philips CM12透射电镜第5页/共23页第6页/共23页12344556789101112131415161617181920图2－1第7页/共23页电子镜光源聚光镜聚光镜试样试样物镜物镜中间象中间象投影镜目镜图2－2观察屏毛玻璃照相底板照相底板第8页/共23页电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。一 . 电子光学系统 图2-1 是近代大型电子显微镜的剖面示意图，从结构上看，和光学透镜非常类似。 1. 照明部分V或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此， 人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 （4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。第9页/共23页阴极（接负高压）控制极（比阴极负100~1000伏）阳极电子束聚光镜试样图2-3 照明部分示意图第10页/共23页 2. 成象放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 （1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。 （2）物镜：电镜的最关键的部分，其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样；将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上，构成与试样组织相对应的显微象。投射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。 物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。 为了减小物镜的球差和提高象的衬度，在物镜极靴进口表面和物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑（防止物镜污染）和衬度光阑（提高衬度） 在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。第11页/共23页（3）中间镜和投影镜： 中间镜和投影镜和物镜相似，但焦距较长。它的作用是将来自 物镜的的电子象再放大，最后显示在观察屏上，得到高放大倍率的 电子象。 （4）相对位置 试样、物