ALD设备使用规范.PDFVIP

ALD 设备使用规范 一、实验前准备 1. 供气端压缩干燥空气的压力为 0.45~0.55MPa，工艺气体供气端压力0.1MPa。 2. 确认设备后冷却循环水已打开。 3. 确认真空泵前端手动阀门打开。 二、启动设备 1. 刷卡上机。 2. 在设备正面的右上方，旋转EMO 红色旋钮，使其弹出，按下START 按钮，启 动设备，如图所示。等候程序载入登录界面，选择用户名：Engineer，输入密 码：wh01。 三、工艺实验及准备 1. 在配置页面中将控制模式选择为自动模式，打开温度控制器中的heater、 top、chamber、purge1-n、hottrap、pumpline，设定温度补偿参数为 0.15torr，同时打开Vg 阀。 2. 切换到自动页面，确认腔盖已关闭的情况下，在系统自动控制区依次打开泵、 流量计、加热器，并设定heater、top、chamber 为60-80℃，purge1-n 为100℃， hottrap 为350℃，pumpline 为120℃，进行设备热机。 3. 待温度稳定后关闭流量计，若腔内压力值正常。则关闭泵、流量计、加热器， 并打开充气键，系统向传送腔充气，当实时压力为760torr 左右时关闭充气键。 打开腔盖，放入沉积样品，关闭腔盖。 4. 点击