原创力文档- 11
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- 2023-01-16 发布于四川
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本实用新型属于扫描电镜用样品台领域，具体是一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓、螺母，主台与样品杆通过螺纹孔Ⅰ连接在一起，样品置放于样品杆样品槽内，通过旋转一字凹槽调整样品杆上表面至同一高度，角度调节台与主台通过安装孔Ⅰ用螺栓和螺母连接在一起，高低移动杆通过螺纹与主台连接，通过球头安装孔与万向球头相连，万向球头另一端安装在角度调节台的滑动凹槽内。本实用新型结构新颖，设计合理，简单快捷地实现了多角度观察镀膜样品断面，提高了科研效率，
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218298089 U
(45)授权公告日 2023.01.13
(21)申请号 202222381229.7
(22)申请日 2022.09.08
(73)专利权人 郑州大学
地址 450000
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