一种用于超纯水制造的抛光系统.pdfVIP

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2023-01-17 发布于四川
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一种用于超纯水制造的抛光系统.pdf

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本实用新型提供了一种用于超纯水制造的抛光系统，其可同时高效降低超纯水中的溶解氮和溶解氧浓度。其包括超纯水箱，所述超纯水箱与预处理系统和制成系统连接，所述超纯水箱通过超纯水泵顺次连接有换热器、TOC‑UV装置、增压泵、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点；所述脱气膜系统包括顺次连接的第一脱气膜装置和第二脱气膜装置，所述第一脱气膜装置采用氮气吹扫加抽真空的运行模式，所述第二脱气膜装置采用抽真空的运行模式。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212269739 U (45)授权公告日 2021.01.01 (21)申请号 202020404008.5 (22)申请日 2020.03.26 (73)专利权人中国电子系统工程第二建设有限