具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆.pdfVIP

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2023-01-18 发布于北京
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具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆.pdf

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本实用新型公开了具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆，杆头本体包括微操纵结构和探针，操纵结构包括形变机构、伸缩机构以及设置为球形重力块结构的惯性传感机构，形变机构通过伸缩机构和探针连接；形变机构的压电陶瓷片组的每对压电陶瓷贴对称固定贴设在基底底座的侧壁上，基底底座的底部设置有压电陶瓷片；伸缩机构的滑块b和垫片同步沿着滑块a的轴线方向相对滑动。除了能对指定位置进行物性测量外，还可以充当三维纳米操纵手，在TEM内实现两根纳米线的原位焊接、实验样品的原位压缩、原位制备异质结等精确操作。该

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212277149 U (45)授权公告日 2021.01.01 (21)申请号 202020944865.4 (22)申请日 2020.05.29 (73)专利权人安徽泽攸科技有限公司