一种等离子体电荷整体加热装置.pdfVIP

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2023-01-20 发布于四川
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一种等离子体电荷整体加热装置.pdf

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本实用新型涉及一种等离子体电荷整体加热装置，包含盘体、加热棒和盖板；所述加热棒设置在盘体内，且与盘体一体铸造成型，并且两端分别伸出盘体底部；所述盖板设置在盘体的顶部，且与盘体固定连接；本实用新型通过将加热棒与盘体一体铸造成型，不仅能有效避免加热棒与盘体之间产生间隙，使得加热更加均匀，提高晶圆加工质量，且避免加工精度带来的装配困难，有效提升产品加热稳定性，降低损耗成本。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218333683 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222605962.2 (22)申请日 2022.09.30 (73)专利权人苏州子山半导体科技有限公司地址