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本实用新型涉及一种用于真空溅射装置的水冷平台机构，涉及真空溅射装置的技术领域，包括底板和转动连接在底板上的旋转轴，旋转轴沿竖直方向设置，旋转轴远离底板的一端设置有旋转平台，旋转平台竖直方向的下方设置有加热盘，旋转轴包括内部中空的外圈外套、插设在外圈外套内的内圈外套、插设在内圈外套内的中心轴，外圈外套、内圈外套、中心轴为同轴设置，外圈外套与内密封套之间间隔形成外回水路，内密封套与中心轴之间间隔形成内进水路，旋转平台内设置有连通外回水路和内进水路的循环水路；旋转轴接近底板的一端设置有用于向旋转轴内进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218321598 U
(45)授权公告日 2023.01.17
(21)申请号 202222690755.1
(22)申请日 2022.10.12
(73)专利权人 爱发科真空技术（苏州）有限公司
地
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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