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一种放空废气中硅烷回收系统.pdfVIP

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  • 2023-01-20 发布于四川
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一种放空废气中硅烷回收系统.pdf

    本实用新型公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212282940 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 201922466713.8 (22)申请日 2019.12.31 (73)专利权人 四川永祥多晶硅有限公司

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