并列式镀膜设备.pdfVIP

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2023-01-20 发布于四川
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并列式镀膜设备.pdf

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一种并列式镀膜设备，适用于对载具所载送的待镀物进行镀膜，所述并列式镀膜设备包含双层进料腔、多个制程腔及出料腔。所述双层进料腔包括在Z轴方向上相反设置的上层进料室与下层进料室，所述载具由所述上层进料室或所述下层进料室进料。所述制程腔用来对所述待镀物进行镀膜，每一个所述制程腔包括一个用来移动所述载具的传送装置，其中一个所述制程腔邻接于所述双层进料腔且还具有第一升降机构，所述第一升降机构用来带动所述载具沿所述Z轴方向移动。所述出料腔邻接于所述双层进料腔的另一侧并用来供所述载具出料。所述出料腔、所述双层

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218321617 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222596862.8 (22)申请日 2022.09.29 (30)优先权数据 111210391 2022.