一种带层间销子的组合坩埚.pdfVIP

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2023-01-21 发布于四川
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一种带层间销子的组合坩埚.pdf

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本实用新型提供一种带层间销子的组合坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，所述组合坩埚包括多个弧形组合片和多个层间销子，所述弧形组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，两个相邻堆叠的所述弧形组合片的对应的位置分别开设一连接槽，所述层间销子设置在所述连接槽中,所述层间销子的外沿对应所述连接槽的内沿。本实用新型的组合坩埚，能够有效解决圆周向的拉力对弧形组合片形成的裂缝问题，有效提高坩埚的可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218321740 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222405008.9 (22)申请日 2022.09.09 (73)专利权人上海骐碳复合材料科技有限公司地址