一种电极装置及PECVD镀膜设备.pdfVIP

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2023-01-21 发布于四川
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一种电极装置及PECVD镀膜设备.pdf

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本实用新型适用于PECVD镀膜技术领域，提供了一种电极装置及PECVD镀膜设备，电极装置包括：支撑架；设于支撑架一侧并相对间隔设置的正极插座板及负极插座板；以及可拔插安装于支撑架并分层间隔设置的多个电极板，每个电极板设置有插头，插头可与正极插座板及负极插座板相配合，每个电极板可选择性地通过插头与正极插座板或负极插座板插接形成电性连接。本实用新型提供的电极装置可根据镀膜工艺需要灵活变换电极板的电极性，并可根据镀膜工艺需要灵活调节相邻电极板的间距，以适应不同的镀膜工艺，且变换电极板的电极性及调节相邻

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218334510 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222439037.7 (22)申请日 2022.09.14 (73)专利权人深圳奥拦科技有限责任公司地址