一种晶圆分选卡塞装置.pdfVIP

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2023-01-21 发布于四川
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一种晶圆分选卡塞装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆分选卡塞装置，包括：第一底座，第一底座上对称位置均设置有两个第一卡孔与两个第二卡孔，两个第一卡孔内分别配合嵌入设置有第一导向机构与第二导向机构；第一导向机构一侧设置有若干个第一导向槽，第二导向机构一侧设置有若干个第二导向槽；若干个晶圆，若干个晶圆层叠设置在第一导向机构与第二导向机构内侧，晶圆通过第一导向槽与第二导向槽进行导向卡塞，相邻晶圆之间设置有间隙；支撑平台，支撑平台底部对称设置有两个支撑卡座，两个支撑卡座分别嵌入两个第二卡孔内，卡塞装置可在有限空间内将晶圆层叠放置，

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218309381 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222449064.2 (22)申请日 2022.09.15 (73)专利权人苏州拓思半导体技术有限公司地址