密封门结构及真空镀膜设备.pdfVIP

下载本文档

11
0
约1.12万字
约 12页
2023-01-21 发布于四川
举报
版权申诉

密封门结构及真空镀膜设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种密封门结构，包括密封门本体、密封圈以及冷却管路。密封门本体转动连接于镀膜腔体的开口处；密封圈设置于密封门本体，当密封门本体封闭镀膜腔体的开口时，密封圈抵靠镀膜腔体的开口边沿；冷却管路设置于密封门本体，冷却管路用于冷却密封门本体和密封圈。该密封门结构能够保证高温真空腔体的密封效果，提升密封可靠性且使用寿命长。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218324599 U (45)授权公告日 2023.01.17 (21)申请号 202222403043.7 E05F 15/53 (2015.01) (22)申请日 2022.09.