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本实用新型公开了一种基于低温冷源的稀有气体纯化装置，该装置包括真空罩（8）、低温制冷机（4），在真空罩（8）内设有回热换热器（1）、固化换热器（3）、冷头换热器（2）和吸附器（7），其中回热换热器（1）分别与混合气进口管（10）和产品气出口管（11）相连通；回热换热器（1）通过输入管路和回流管路与固化换热器（3）相连接，固化换热器（3）通过输入管路和回流管路与冷头换热器（2）相连接；吸附器（7）设置固化换热器（3）前侧或后侧的输入管路上；所述冷头换热器（2）与低温制冷机（4）的制冷机冷头（6）连
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212283440 U
(45)授权公告日 2021.01.05
(21)申请号 202020546118.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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