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一种超纯水热交换系统.pdfVIP

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  • 2023-01-22 发布于四川
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一种超纯水热交换系统.pdf

    本实用新型公开了一种超纯水热交换系统，超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路，采用套管换热管路实现循环流体与超纯水的换热，超纯水管路采用软态洁净管路，减少超纯水污染环节，且布置方便；过程中超纯水中的热量通过套管换热管路把热量转移到循环流体中，经第一温度传感器采集循环流体温度信号后，由微电脑处理系统分析匹配控温系统半导体制冷片的输出换热量，从而调节循环流体的温度，进而实现对超纯水的热交换控制；无其他直接接触的部件，回路简单，成本低，实现热交换目的保证半导体工艺制程需求的同时，减少了超纯水污染

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212299538 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202020555515.9 (22)申请日 2020.04.15 (73)专利权人 无锡溥汇机械科技有限公司

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