可分区导通的VCSEL激光光源.pdfVIP

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2023-01-23 发布于四川
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可分区导通的VCSEL激光光源.pdf

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本实用新型提供一种可分区导通的VCSEL激光光源，包括，VCSEL阵列，其包括相互电隔离的多个VCSEL单元，每一VCSEL单元自下而上包括衬底、底部反射器、有源区、具有开孔的限制层、顶部反射器和欧姆接触层；形成于所述VCSEL阵列顶部的顶部电导通图案；形成于所述VCSEL阵列底部的底部电导通图案，所述底部电导通图案包括第一电导通图案和第二电导通图案，所述第一电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第一子集，以及，所述第二电导通图案电连接于所述多个VCSEL单元中的第二子集。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212304195 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202020634656.X (22)申请日 2020.04.24 (73)专利权人宁波睿熙科技有限公司