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泓域咨询/景德镇半导体前道量检测项目可行性研究报告
景德镇半导体前道量检测项目
可行性研究报告
xxx有限责任公司
报告说明
前道量检测设备为高精密设备，需完成纳米级别的测量、检测工作，主要由传输单元、光路处理单元、信号单元、量检测单元等系统组成，包含成千上万个具体模块，涉及高真空腔传输技术、光谱检测技术、快速运算技术、高精度信号检测技术等，是光学、电学、机械学、算法、运动控制等多学科的技术结晶。前道量检测设备广泛应用于晶圆制造中多个工艺环节，具有技术壁垒高、制造难度大等特点。在半导体设备中，前道量检测设备制造难度较大。
根据谨慎财务估算，项目总投资44829.33万元，其中：建设投
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