一种用于石英晶片的表面除污装置.pdfVIP

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  • 2023-01-30 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于石英晶片的表面除污装置,包括除污机和晶片盒,除污机的内腔安装有晶片盒,在主机的上端安装有升降装置,当石英晶片需要进行表面除污时,石英晶片让入晶片槽,晶片盒让入除污池,在驱动电机的转动下带动转动轴,转动轴带动转杆,转杆转动使转动套做径向往复运动,而晶片盒在升降装置的径向运动下,加快晶片盒内部石英晶片表面污物的清理,主盒的两侧安装有连接杆,连接杆的侧面上端安装有安装套,当主盒放入除污池内腔时,安装套可直接套在升降装置的上端,并从紧固孔插入固定杆,而限位珠能够卡住固定杆,这种固

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212303618 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202022016381.6 (22)申请日 2020.09.15 (73)专利权人 马鞍山荣泰科技有限公司

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