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一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构.pdfVIP

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  • 2023-01-30 发布于四川
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一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构.pdf

    本实用新型公开了一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的电极结构，包括毛细管，所述毛细管位于放电室内，所述毛细管呈圆柱形，在毛细管两端均设有电极，毛细管两端的电极与电源相连接形成回路，所述毛细管两端的电极包括高压电极和接地电极，高压电极的长度大于接地电极的长度，高压电极和接地电极通电产生等离子体，在毛细管内充有工作气体，本实用新型中毛细管内产生的三束等离子体经过耦合，可以极大地提高等离子体的发光功率，满足极紫外光刻生产的需求；三束等离子体耦合光源单次发光的功率较高，这大大地降低了放电的重复频率，光刻

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212302211 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202022107593.5 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 湖北汽车工业学院 地

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