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本实用新型揭示了干法刻蚀机用多功能安装调试平台，包括升降移动的升降平台装置、设于升降平台装置内的旋转装置、以及设于旋转装置顶部的伸缩平台装置；伸缩平台装置包括基板、设于基板顶部的导轨连板、设于导轨连板上沿其长度方向设置的上导轨和下导轨、配合上导轨沿其滑动的上手臂支架、配合下导轨沿其滑动的下手臂支架、以及相对平行设于上手臂支架侧边和设于下手臂支架侧边的若干手臂支撑体，手臂支撑体承载待刻蚀产品，旋转装置内旋转的主轴连接基板。本实用新型实现了在干法刻蚀机内有效调试液晶显示屏的位置，达到最佳刻蚀效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212303611 U
(45)授权公告日 2021.01.05
(21)申请号 202021047599.1
(22)申请日 2020.06.09
(73)专利权人 苏州芯慧联半导体科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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