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本实用新型公开了一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件，包括下层悬空结构和上层悬空结构；下层悬空结构自下而上依次包括基底、下层支撑层、下层加热层、下层导电层；所述的上层悬空结构自下而上依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层导电层、上层半导体微纳结构，或者依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层金属微纳结构；通过调节下层悬空结构的温度，调节可调红外热辐射器件的黑体辐射背景谱线，通过加电压控制上下层导电层之间的静电力，影响其形变程度，从而推动上层悬空结构靠近或者远离下层悬空结构，改变上层空气间隙，进而改变
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212321428 U
(45)授权公告日 2021.01.08
(21)申请号 202020840698.9 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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