射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置.pdfVIP

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2023-01-31 发布于四川
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射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置.pdf

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本实用新型涉及射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本实用新型还涉及一种包括束径约束器的控制装置，采用该装置进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212322948 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202020536808.2 (22)申请日 2020.04.13 (73)专利权人中国兵器科学研究院宁波分院