一种用于532nm的偏振分束光栅.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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一种用于532nm的偏振分束光栅.pdf

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本实用新型涉及一种用于532nm的偏振分束光栅，包括薄膜和固定在所述薄膜底部的介质基底；所述薄膜的沟槽形状为正弦槽型；所述薄膜的材质为金属材质；所述介质基底的材质为玻璃；所述薄膜的周期P的范围为266nm至532nm；所述薄膜的厚度T的范围为100nm至1um；所述薄膜的刻蚀深度H的范围为70nm至120nm。该偏振分束光栅可以对532nm激光实现偏振分束，把TE偏振光衍射至0级，衍射效率大于95%，把TM偏振光衍射至‑1级，衍射效率大于95%。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212321886 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202021181134.5 (22)申请日 2020.06.23 (73)专利权人福建中科晶创光电科技有限公司